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等離子剝離/拋光系統

YES-CV200RFS等離子剝離/除渣系統

臺式等離子剝離/除渣系統利用低頻，下游和電容性等離子工藝。避免使用有毒的化學藥品，以進行溫和的“除垢”清潔以及強韌的光刻膠，聚酰亞胺和BCB的強力等離子體剝離。通過濕法工藝可獲得更高的產量和可重復的結果。
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產品概述

享受高達每分鐘7,000埃的快速剝離速度，同時實踐對工程師和操作員而言更安全的綠色制造。無需有毒化學物質，RFS系列可為各種應用提供較低的擁有成本和靈活的等離子功率設置。此外，RFS系列提供精確的溫度控制，以實現均勻，可重復的結果。下游過程不提供等離子體充電。當準備好進行大規模生產時，您可以無縫過渡到我們的大批量自動化EcoClean系統。

強大的清潔功能可去除光致抗蝕劑，聚酰亞胺和BCB；
具有溫和的Descum功能

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