◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。
◆ ?PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
◆ ?石英真空艙，真空管路系統(tǒng)采用?316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。
◆ ?采用質(zhì)量流量計，實現(xiàn)對氣體輸入精準控制，改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。
◆ ?HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
◆ ?60 度傾角操作界面設計，符合人體功能學，操作方便，界面友好。
◆ ?頂置真空艙，上開蓋設計，下壓式鉸鏈開關方式，開關蓋方便。
◆ ?CIF實驗室型等離子清洗機采用花灑式多孔進氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
◆ ?上置式?360 度自由水平取放樣品托盤設計，符合人體功能學，操作更方便。
◆ ?有效清洗面積大，可清洗最大直徑?8 吋硅片。
◆ ?安全保護，艙門打開，自動關閉電源。
| 型號 | CPC-G | CPC-Gplus |
| 射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
| 射頻功率 | 0-600W | 0-150W |
| 匹配器 | 自動匹配 | |
| 激發(fā)方式 | 電容式 | |
| 氣體控制 | 單路?MFC（可選兩路） | |
| 艙體尺寸 | H100xΦ269mm | |
| 艙體容積 | 5.6L | |
| 艙體材質(zhì) | 石英玻璃 | |
| 有效處理尺寸 | Φ269mm?圓盤 | |
| 時間設定 | 9999 秒 | |
| 真空泵 | 抽速?4m3/h | |
| 氣體穩(wěn)定時間 | 1 分鐘 | |
| 真空度 | 100pa?以內(nèi) | |
| 電???源 | AC220V 50/60Hz ?752/302W | |
| 產(chǎn)品尺寸 | L425xW480xH445mm | |
| 包裝尺寸 | L550xW630xH700mm | |
| 整機重量 | 30kg | |
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